一种晶片型压电振子驱动的隔膜泵
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申请专利人:浙江师范大学
第一作者:阚君武
发明设计人:阚君武,富佳伟,陈松,尹晓红,王淑云
所属单位:工学院、职业技术教育学院
专利类型:实用新型专利
专利说明:本实用新型涉及一种晶片型压电振子驱动的隔膜泵,属流体驱动控制领域。腔体端部安装的隔膜和泵盖构成泵腔,施力件圆盘和挡板压接在隔膜两侧,施力件导杆端部装有连接块,连接块上装有压电振子,压电振子两端固定在左右壁板上;压电振子安装前为平直结构且长度大于左右壁板间距,安装后变成弯曲结构且压电晶片半径小于基板半径,晶片承受压应力;连接块左侧驱动单元I和右侧驱动单元II间的电压相位相反,两个驱动单元中压电振子的缩短量和伸长量相互制约。特色与优势:通过安装方法构造伸缩式压电驱动器,制作方法及工艺简单、成本低;压电片仅受压
申请日期:2016-06-15
申请号:201620626046.9
公开日期:2016-11-09
授权日期:2016-11-09
授权号:CN205677807U
是否职务专利:否
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