一种晶片型压电振子驱动的隔膜泵
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申请专利人：浙江师范大学
第一作者：陈松
发明设计人：陈松，费翔，阚君武，尹晓红，王淑云
所属单位：工学院、职业技术教育学院
专利类型：发明专利
专利说明：本发明涉及一种晶片型压电振子驱动的隔膜泵，属流体驱动控制领域。腔体端部安装的隔膜和泵盖构成泵腔，施力件圆盘和挡板压接在隔膜两侧，施力件导杆端部装有连接块，连接块上装有压电振子，压电振子两端固定在左右壁板上；压电振子安装前为平直结构且长度大于左右壁板间距，安装后变成弯曲结构且压电晶片半径小于基板半径，晶片承受压应力；连接块左侧驱动单元I和右侧驱动单元II间的电压相位相反，两个驱动单元中压电振子的缩短量和伸长量相互制约。特色与优势：通过安装方法构造伸缩式压电驱动器，制作方法及工艺简单、成本低；压电片仅受压应力
申请日期：2016-06-15
申请号：201610459202.1
公开日期：2016-10-12
授权日期：2017-11-21
授权号：CN106014940B
是否职务专利：否
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