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发布时间：2020-06-01
论文类型：EI
第一作者：何新智
全部作者：何新智,李德才,孙明礼等.
发表时间：2020-06-01
发表刊物：真空科学与技术学报
期号：2008,28 (2):
页面范围： 179-181
是否译文：否
