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发布时间：2020-06-01
论文类型：EI
第一作者：孙明礼
全部作者：孙明礼,李德才,何新智等.
发表时间：2020-06-01
发表刊物：真空科学与技术学报
期号：2007,27 (3)
页面范围： 269-272
是否译文：否
