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申请专利人 ： 浙江师范大学

作者 ： 黄仕华

发明设计人 ： 黄仕华，陆肖励，井维科

所属单位 ： 数理与信息工程学院

专利类型 ： 发明专利

专利说明 ： 本发明公开了一种具有宽特征尺度的掺铝氧化锌薄膜制备方法，利用磁控溅射在玻璃基片上生长一层AZO薄膜；利用稀盐酸与丙烯酸混合液对AZO薄膜进行腐蚀，获得大特征尺度的光俘获结构；在腐蚀后的AZO薄膜上利用磁控溅射再生长一层AZO薄膜；在浓度为0.3%的500 ml稀盐酸溶液中加入0.5~1.0 ml的丙烯酸，不断晃动搅拌直至混合均匀，把制备好的AZO薄膜放入其中浸泡30~70秒，然后取出，并用去离子水冲洗。本发明采用不同浓度的稀盐酸‑丙烯酸溶液，可以在AZO表面获得不同特征尺度的光俘获结构，从而得到尺度范围较

申请日期 ： 2018-04-11

申请号 ： 201810319532.X

公开日期 ： 2018-09-28

是否职务专利 ： 否