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申请专利人 ： 浙江师范大学

第一作者姓名 ： 徐建程

发明设计人 ： 徐建程，王辉，李勇，范长江

所属单位 ： 数理与信息工程学院

专利类型 ： 发明专利

专利说明 ： 一种光学元件内部缺陷的检测装置，包括：载物台、照明系统和成像系统；其中，所述照明系统相对于载物台的位置按照如下方式设置：在待测光学元件置于载物台上后，照明系统发出的照明光束可以正入射方式照射所述光学元件的表面；所述成像系统设置于所述载物台上光学元件的侧面外，可获取照明系统发出的照明光束在光学元件厚度方向形成的照明截面的二维图像。利用该装置能够实现对光学元件的内部缺陷的检测，而且还能够区分表面缺陷和内部缺陷。本发明还提供一种光学元件的检测方法。

申请日期 ： 2011-04-29

申请号 ： 201110109229.5

公开日期 ： 2011-12-21

是否职务专利 ： 否