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申请专利人 ： 浙江师范大学

第一作者姓名 ： 徐建程

发明设计人 ： 徐建程

所属单位 ： 数理与信息工程学院

专利类型 ： 发明专利

专利说明 ： 本发明提供一种光学元件中频误差的检测方法，包括如下步骤，采用第一干涉仪测量被测光学元件全口径的低频面形分布；将被测光学元件分成N个方形子区域，采用第二干涉仪测量上述各个子区域的面形分布；计算被测光学元件各个子区域内的中频误差的功率谱密度，并计算该被测整个光学元件的中频误差的功率谱密度；判断该光学元件的中频误差是否满足要求，若不满足再判断各个子区域内的中频误差是否满足要求，从而得到中频误差需要返修的区域，进而指导光学加工；其中，所述第二干涉仪的分辨率大于所述第一干涉仪的分辨率。本发明的方法对大口径光学元件移

申请日期 ： 2011-09-20

申请号 ： 201110279067.X

公开日期 ： 2012-05-02

是否职务专利 ： 否