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第一作者 ： 柴立群

发表时间 ： 2012-01-01

发表刊物 ： 中国激光

所属单位 ： 数理与信息工程学院

文献类型 ： 期刊

卷号 ： 第39卷

期号 ： 第1期

页面范围 ： 179-184

ISSN ： 0258-7025

关键字 ： 测量；波前检测；统计方法；大口径平板；中频波前均方根

摘要 ： 在高功率激光系统中,大口径元件的中频波前影响系统的安全运行,中频波前均方根(PSD1)是用来评价中频波前质量的关键参数。由于大口径干涉仪在系统传递函数(STF)上不能完全满足中频波前的检测要求,提出采用小口径高分辨率干涉仪检测的统计分析方法,建立了统计理论模型,分析了测量不确定度。建立了子区域PSD1检测装置,提出了子区域倾斜补偿法,提高了检测精度。理论及实验结果表明针对400mm×400mm分析区域,子区域数量设置为4×4,置信水平为95.4%时,测量不确定度为±0.266nm。该方法与大口径干涉仪检测

是否译文 ： 否