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申请专利人 ： 浙江师范大学

作者 ： 许富洋

发明设计人 ： 许富洋

所属单位 ： 数理与信息工程学院

专利类型 ： 实用新型专利

专利说明 ： 本实用新型公开了一种密接型曝光装置，包括固定架和微型液压系统；所述固定架包括上底板、下底板、固定杆和掩膜基片载板，所述固定杆对称设置有两根，所述固定杆支撑在所述上底板和下底板之间，所述上底板中心位置处设置有上底板曝光通光孔，所述掩膜基片载板中心位置处设置有掩膜基片载板曝光通光孔，所述掩膜基片载板设置在所述固定杆上，并且位于所述上底板的下方；所述微型液压系统包括手动液压泵和微型液压缸，所述手动液压泵和微型液压缸之间连接有液压胶管，所述微型液压缸固定在所述下底板上，所述微型液压缸中部包括有一个支撑平板型光刻胶

申请日期 ： 2014-05-09

申请号 ： 201420236380.4

公开日期 ： 2014-09-10

授权日期 ： 2014-09-10

授权号 ： CN203825366U

是否职务专利 ： 否