语言选择
English
首页
科学研究
科研项目
著作成果
专利
论文成果
研究领域
教学研究
教学成果
授课信息
教学资源
获奖信息
招生信息
学生信息
我的相册
教师博客
已经得到
个称赞 给我点赞
姓名：
马云
性别：
男
入职时间：
2011-08-23
在职信息：
在岗
职称：
实验师
单位：
物理与电子信息工程学院
毕业院校：
浙江师范大学
专利
当前位置:
中文主页
>>
科学研究
>>
专利
>> 一种底层埋入式微...
一种底层埋入式微米级三维薄膜电感器
点击量：
所属单位：
数理与信息工程学院
专利类型：
实用新型专利
申请号：
201521020237.2
申请日期：
2015-12-09
授权号：
CN205140709U
作者姓名：
何兴伟
申请专利人：
浙江师范大学
发明设计人：
何兴伟，方允樟，李文忠，马云，金林枫
公开日期：
2015-12-09
授权日期：
2016-04-06
是否职务专利：
否
专利说明：
本实用新型涉及一种底层埋入式微米级三维薄膜电感器，本实用新型为底层埋入式的电感器，即在制造时，在底导线层光刻实现后不直接镀膜，而是采用刻蚀的方法使衬底下凹，再镀膜，将底导线层斜纹埋入凹槽，并通过控制厚度，让底导线层斜纹的顶部与衬底基本持平。然后在该平面上依次镀绝缘层、磁芯层、绝缘层、顶条纹导线层。通过纯光刻法，实现结构优良的三维薄膜电感器。并将尺寸减小到微米级。同时又保证生长的底导线层上平面与衬底面持平，使得其后的膜层生长在水平面上。成功的避免了磁性层的弯曲及各层在垂直平面方向部分交叠的情况，结构上达到了
上一条：
一种底层埋入式微米级三维薄膜电感器及其制造方法
下一条：
自调节负压的点胶装置
推荐此文
