具有宽特征尺度的掺铝氧化锌薄膜制备方法
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申请专利人：浙江师范大学
第一作者：黄仕华
发明设计人：黄仕华，陆肖励，井维科
所属单位：数理与信息工程学院
专利类型：发明专利
专利说明：本发明公开了一种具有宽特征尺度的掺铝氧化锌薄膜制备方法，利用磁控溅射在玻璃基片上生长一层AZO薄膜；利用稀盐酸与丙烯酸混合液对AZO薄膜进行腐蚀，获得大特征尺度的光俘获结构；在腐蚀后的AZO薄膜上利用磁控溅射再生长一层AZO薄膜；在浓度为0.3%的500 ml稀盐酸溶液中加入0.5~1.0 ml的丙烯酸，不断晃动搅拌直至混合均匀，把制备好的AZO薄膜放入其中浸泡30~70秒，然后取出，并用去离子水冲洗。本发明采用不同浓度的稀盐酸‑丙烯酸溶液，可以在AZO表面获得不同特征尺度的光俘获结构，从而得到尺度范围较
申请日期：2018-04-11
申请号：201810319532.X
公开日期：2018-09-28
是否职务专利：否
下一条：一种傅科摆实验演示装置