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申请专利人 ： 浙江师范大学

第一作者姓名 ： 蒋敏兰

发明设计人 ： 蒋敏兰，李付鹏，陆鑫潮

所属单位 ： 数理与信息工程学院

专利类型 ： 发明专利

专利说明 ： 本发明涉及纳米计量技术领域，具体涉及一种传感装置。纳米位移测量传感器，包括激光器、光学棱镜、光栅、光电探测器、信号处理电路、微型处理器系统，光学棱镜包括反射镜、第一直角棱镜、第二直角棱镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、非偏振分光棱镜、第一偏振分光棱镜、第二偏振分光棱镜。光电探测器包括第一光电探测器、第二光电探测器。本发明基于衍射光栅，半导体激光光源的微型纳米测量系统，利用上述元件构建一纳米测量光路，该纳米测量光路将环境光源的影响降至最低，通过提高了光栅偏摆的公差，抑制光栅运动直线度误差的影响，实现紧

申请日期 ： 2011-09-16

申请号 ： 201110275388.2

公开日期 ： 2012-05-09

是否职务专利 ： 否