黄仕华
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申请专利人 : 浙江师范大学
作者 : 陈莉萍
发明设计人 : 陈莉萍,郭雪祥,何绿,黄仕华,郭海
所属单位 : 数理与信息工程学院
专利类型 : 发明专利
专利说明 : 本发明涉及一种制备氧化锌薄膜的方法,属于薄膜制备领域,包括以下步骤:(1)将衬底置于基片台上;在氧压≥0.2Pa,衬底温度在100℃-400℃的条件下,使用氧化锌靶材,采用脉冲激光溅射的方法,在衬底上溅射沉积氧化锌薄膜,氧化锌靶材的纯度为99.99%。实验证明,氧压0.2Pa,衬底温度300℃的条件下制备的ZnO薄膜微观结构最优、导电性和透过率最佳。该薄膜具有高度c轴取向,半高宽FWHM仅为0.2°,电阻率为0.004Ω·cm、平均可见光透过率超过80%,随着氧分压和衬底温度的增大,薄膜的电阻率加大,呈现
申请日期 : 2015-09-11
申请号 : 201510579062.7
公开日期 : 2015-12-02
是否职务专利 : 否