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    黄仕华

    • 教授 博士生导师 硕士生导师
    • 性别 : 男
    • 毕业院校 : 复旦大学
    • 学历 : 博士研究生毕业
    • 学位 : 博士学位
    • 在职信息 : 在岗
    • 所在单位 : 物理与电子信息工程学院
    • 入职时间 : 2004-07-01
    • 办公地点 : 校内科技楼(29幢)418室(靠西边)
    • 联系方式 : 通讯地址:浙江省金华市迎宾大道688号浙江师范大学数理信息学院 邮编:321004 Email:huangshihua@zjnu.cn 联系电话:0579-82298266(办公室),82298856(实验室)
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    一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜

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    申请专利人 : 浙江师范大学

    作者 : 陈莉萍

    发明设计人 : 陈莉萍,郭雪祥,何绿,黄仕华,郭海

    所属单位 : 数理与信息工程学院

    专利类型 : 发明专利

    专利说明 : 本发明涉及一种制备氧化锌薄膜的方法,属于薄膜制备领域,包括以下步骤:(1)将衬底置于基片台上;在氧压≥0.2Pa,衬底温度在100℃-400℃的条件下,使用氧化锌靶材,采用脉冲激光溅射的方法,在衬底上溅射沉积氧化锌薄膜,氧化锌靶材的纯度为99.99%。实验证明,氧压0.2Pa,衬底温度300℃的条件下制备的ZnO薄膜微观结构最优、导电性和透过率最佳。该薄膜具有高度c轴取向,半高宽FWHM仅为0.2°,电阻率为0.004Ω·cm、平均可见光透过率超过80%,随着氧分压和衬底温度的增大,薄膜的电阻率加大,呈现

    申请日期 : 2015-09-11

    申请号 : 201510579062.7

    公开日期 : 2015-12-02

    是否职务专利 :

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