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第一作者 ： 楼曹鑫

发表时间 ： 2010-01-01

发表刊物 ： 半导体光电

所属单位 ： 数理与信息工程学院

文献类型 ： 期刊

期号 ： 第5期

页面范围 ： 763-766

ISSN ： 1001-5868

关键字 ： 热蒸发法；ZnO薄膜；光致发光；SEM

摘要 ： 以醋酸锌为原料、O/Ar的混合气体为携载气体,在500℃的温度下应用热蒸发法在p型Si基片上生长纳米ZnO薄膜,并研究了其形貌、结构和光电特性。X-射线（XRD）衍射结果显示所制备ZnO纳米晶体呈六角纤锌矿结构;扫描电子显微镜（SEM）观察发现生长的ZnO薄膜平整均匀,纳米晶体颗粒平均尺寸为25nm。应用紫外-可见光吸收谱分析了其吸收特性,发现该ZnO薄膜在紫外波段具有很强的吸收,其吸收边位于320nm处。由于量子限制效应,与体材料相比,该吸收边存在明显的蓝移。应用光致发光谱（PL）研究了其发光特性,发现

是否译文 ： 否