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姓名：
何绿
性别：
女
入职时间：
2002-08-01
在职信息：
在岗
职称：
实验师
单位：
物理与电子信息工程学院
毕业院校：
四川大学
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一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜
点击量：
所属单位：
数理与信息工程学院
专利类型：
发明专利
申请号：
201510579062.7
申请日期：
2015-09-11
作者姓名：
陈莉萍
申请专利人：
浙江师范大学
发明设计人：
陈莉萍，郭雪祥，何绿，黄仕华，郭海
公开日期：
2015-12-02
专利说明：
本发明涉及一种制备氧化锌薄膜的方法，属于薄膜制备领域，包括以下步骤：(1)将衬底置于基片台上；在氧压≥0.2Pa，衬底温度在100℃-400℃的条件下，使用氧化锌靶材，采用脉冲激光溅射的方法，在衬底上溅射沉积氧化锌薄膜,氧化锌靶材的纯度为99.99％。实验证明，氧压0.2Pa，衬底温度300℃的条件下制备的ZnO薄膜微观结构最优、导电性和透过率最佳。该薄膜具有高度c轴取向，半高宽FWHM仅为0.2°，电阻率为0.004Ω·cm、平均可见光透过率超过80％，随着氧分压和衬底温度的增大，薄膜的电阻率加大，呈现
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