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发布时间：2018-12-21

申请专利人：浙江师范大学

第一作者：何绿

发明设计人：何绿，张若云，陈莉萍，刘剑，黄仕华

所属单位：数理与信息工程学院

专利类型：发明专利

专利说明：本发明涉及一种制造氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池的方法，通过准备室、本征室、P室、N室、机械泵A、机械泵B、分子泵C、分子泵D、罗茨泵E和罗茨泵F，经过准备预热步骤、准备室预溅射步骤、生长P型氢化纳米晶硅薄膜步骤、生长本征氢化纳米晶硅薄膜步骤和生长n型氢化纳米晶硅薄膜步骤，通过改变PECVD的真空系统以及工艺方法实现低成本氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池的生长。将PECVD的真空系统改为由分子泵罗茨泵机械泵蝶阀构成。罗茨泵转数介于分子泵与机械泵之间，与普通蝶阀即可将气压精确维持在200Pa上，构成纳米晶硅薄膜生长所

申请日期：2015-09-17

申请号：201510594371.1

公开日期：2015-12-16

授权日期：2017-03-22

授权号：CN105161573B

是否职务专利：否