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第一作者 ： 叶向荣

发表时间 ： 2015-01-01

发表刊物 ： 低温与特气

所属单位 ： 数理与信息工程学院

文献类型 ： 期刊

卷号 ： 第33卷

期号 ： 第2期

页面范围 ： 1-6

ISSN ： 1007-7804

关键字 ： 净化器；电子气体；在线净化；净化材料；痕量杂质

摘要 ： 电子气体净化器是对电子气体进行在线净化,使主要杂质含量由10-6级降低到10-9、10-12级的关键纯化装置。与电子气体一样,同属我国亟待发展的战略资源与关键技术。从技术和市场角度,对电子气体净化器国内外现状和发展做总体性概括、介绍和展望。

是否译文 ： 否