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Status:在岗
School/Department:数理与信息工程学院

陈刚

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Gender:Male

Alma Mater:南京大学

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电子气体净化器现状与趋势
Date of Publication:2015-01-01 Hits:

First Author:叶向荣
Date of Publication:2015-01-01
Journal:低温与特气
Affiliation of Author(s):数理与信息工程学院
Document Type:期刊
Volume:第33卷
Issue:第2期
Page Number: 1-6
ISSN No.:1007-7804
Key Words:净化器;电子气体;在线净化;净化材料;痕量杂质
Abstract:电子气体净化器是对电子气体进行在线净化,使主要杂质含量由10-6级降低到10-9、10-12级的关键纯化装置。与电子气体一样,同属我国亟待发展的战略资源与关键技术。从技术和市场角度,对电子气体净化器国内外现状和发展做总体性概括、介绍和展望。
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